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增强型白光干涉仪使用说明书下载
编号：1202 SWIM系列扫描白光干涉仪结合Carmar公司的相移垂直扫描的专利技术与显微光干涉技术，不需要复杂光路调整程序，即可在非接触、无破坏、普通大气环境下完成3D奈米深度的表面检测分析，不仅提供3D表面形状和表面纹理的分析，更可提供镜面表面的奈米级粗糙度和台阶高度分析， 并追溯至ISO国际规范。
详细说明
奈米深度3D形状显微检测仪 SWIM白光干涉仪使用说明书下载
特色
1. 奈米深度3D检测
2. 高速／无接触量测
3. 表面形状／粗糙度分析
4. 非透明／透明材质适用
5. 非电子束／非雷射的安全量测奈米3D显微形貌快速呈现
SWIM系列扫描白光干涉仪结合Carmar公司的相移垂直扫描的专利技术与显微光干涉技术，不需要复杂光路调整程序，即可在非接触、无破坏、普通大气环境下完成3D奈米深度的表面检测分析，不仅提供3D表面形状和表面纹理的分析，更可提供镜面表面的奈米级粗糙度和台阶高度分析， 并追溯至ISO国际规范。
SWIM系列扫描白光干涉仪结合Carmar公司的相移垂直扫描的专利技术与显微光干涉技术，不需要复杂光路调整程序，即可在非接触、无破坏、普通大气环境下完成3D奈米深度的表面检测分析，不仅提供3D表面形状和表面纹理的分析，更可提供镜面表面的奈米级粗糙度和台阶高度分析， 并追溯至ISO国际规范。
SWIM系列扫描白光干涉显微检测仪，具有极强的测量能力，可在几秒内就完成整个视场的扫描，得到测量样品的3D图形与高度数据，检测速度与深度量测能力优于逐点逐面扫描的共焦扫描显微镜，3D图形量测能力又优于扫描式电子显微镜的2D平面检测能力，且不需要使用电子束或雷射，开机快又安全。
无论是抛光面，还是粗糙面，甚至是透明材质，只要有超过1%以上的反射率就能够被检测。 SWIM系列显微检测仪适合各种材料与微组件表面特征和微尺寸检测，应用领域包含：
1. 玻璃镜片
2. 镀膜表面
3. 晶圆（Wafer）
4. 光盘／硬盘（DVD Disk／Hard Disk）
5. 微机电组件 （MEMS Components）
6. 平面液晶显示器（LCD）
7. 高密度线路印刷电路板（ HDI PCB ）
8. IC封装（ IC Package）
9. 精密微机械组件（Micro Mechanical Parts）
10. LED基板表面微图案结购 (LED Subtract Micro-pattern)
11. 以及其它材料分析与组件微表面研究。
相移垂直扫描专利技术，使深度分辨率达0.1nm
SWIM系列显微检测仪提供Z轴扫描分辨率0.1nm，平面空间分辨力0.61nm(50X物镜)的量测能力，最高达12μm/s的垂直扫描速度，所具有的奈米3D显微形貌快速呈现能力是科研、研发、生产品检时所必备的工具。机台规格 (以下为标准机台规格, 另可依客户需求增加电动平台或自动对焦模块)
型号
SWIM 1510MS
显示器主架构 显微镜本体0.5X 物镜放大倍率
10X
20X
50X
观察与量测范围 长X 宽 mm
1.67 X 1.33 0.84 X 0.67 0.34 X 0.27
光学分辨率 (mm)
1.12
0.84
0.61
工作距离 (mm)
7.4
4.7
3.4
量测用光学系统
白光干涉显微光学系统
高度测量
测量范围
100 mm ( 400 mm, 选配)
量测分辨率
0.1 nm
重复精度(σ) (1)
≦ 0.1 % ( 量测高度： > 10 m m) ≦ 10 nm ( 量测高度：1 m m ~ 10 m m) ≦ 5 nm ( 量测高度： <1 m m )
量测控制
自动
扫瞄速度 (nm ／s)
12 （最快）
观察与量测用光源
光源类型
仪器用卤素光源
平均使用寿命
1000小时
光强度调整
自动 ／手动
取像单元
影像传感器
黑白 CCD数位摄像机
传感器分辨率
1280 x 1024像素
样品移动平台
观察移动平台
行程
150 mm x 100 mm, 手动
载重
大于 10 kg
Z 轴移动范围
80 mm，手动
位置数字显示单元
三轴光学尺与三轴数字显示器 (分辨率1 mm)
倾斜调整平台
手动
底座
花岗岩
数据处理与显示用计算机
中央处理运算单元
双核心CPU
影像与数据显示屏幕
17” 液晶屏幕
存储装置
160 GB 以上硬盘机
操作系统
WindowsXP (2)
电源
